RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100

RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-08-14 13:24:45
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上海睿度光电科技有限公司

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产品简介

系统说明RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100 RD-NIL100,是一款桌面型纳米压印光刻系统。主要应用于微米或纳米结构的压印成型。系统特点•●桌面型,4 / 6 / 8英寸可选●•热压印<230℃,误差±2℃•●真空环境作业,<1mbar●•可压印分辨率<50nm图案

详细介绍

系统说明RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100 RD-NIL100,是一款桌面型纳米压印光刻系统。主要应用于微米或纳米结构的压印成型。系统特点•●桌面型,4 / 6 / 8英寸可选●•热压印<230℃,误差±2℃•●真空环境作业,<1mbar●•可压印分辨率<50nm图案

RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100


可实现图案转移分辨率

分辨率<50nm,可同时实现UV紫外固化和热压印两种模式

压印精度控制及均匀性

在紫外固化模式下,可实现5:1深宽比,优异的压印高度均匀性

热压印

230℃;100°C/min升温速度;可以根据压印材料,通过软件实现不同温度控制

UV光源

配置i-line 365nm光源,光源能量值可达400mW/cm2

压力控制

真空腔≤100Pa;气压腔0.0-0.3bar,采用进口干泵机

压印平台

平整度TTV<5μm,确保长期的高精度、高稳定性

检测模块

配置气压及温度检测模块,与软件配套,可实现特定环境的控制

通讯接口

USB2.0标准计算机与仪器通讯接口

压印室尺寸

直径~105mm,高度~12mm(4寸)

应用软件

支持自定义 :可根据客户压印材料不同,控制不同气温,UV紫外照射时间及量

操作控制:提供简单易操作的控制流程,同时支持管理员模式更改个别需求参数

实时监控:监控压印腔体内的温度、压力数据,实时反映在监控软件上


p.s.为保持服务的专业性及稳定性,睿度光电产品均无代理,烦请通过以下方式与我司联系,

咨询邮箱:service,总部电话:+86-21-


RUIDU 科研型纳米压印光刻系统 RD-NIL100


•● DOE(人脸识别衍射元器件)

●• Diffuesr(扩散元器件)

•● AR波导片

●• 微透镜阵列

•● 微流控芯片

●• 微针


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