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面议可实现图案转移分辨率 | 分辨率<50nm,可同时实现UV紫外固化和热压印两种模式 |
压印精度控制及均匀性 | 在紫外固化模式下,可实现5:1深宽比,优异的压印高度均匀性 |
热压印 | 230℃;100°C/min升温速度;可以根据压印材料,通过软件实现不同温度控制 |
UV光源 | 配置i-line 365nm光源,光源能量值可达400mW/cm2 |
压力控制 | 真空腔≤100Pa;气压腔0.0-0.3bar,采用进口干泵机 |
压印平台 | 平整度TTV<5μm,确保长期的高精度、高稳定性 |
检测模块 | 配置气压及温度检测模块,与软件配套,可实现特定环境的控制 |
通讯接口 | USB2.0标准计算机与仪器通讯接口 |
压印室尺寸 | 直径~105mm,高度~12mm(4寸) |
应用软件 | 支持自定义 :可根据客户压印材料不同,控制不同气温,UV紫外照射时间及量 |
操作控制:提供简单易操作的控制流程,同时支持管理员模式更改个别需求参数 | |
实时监控:监控压印腔体内的温度、压力数据,实时反映在监控软件上 |
p.s.为保持服务的专业性及稳定性,睿度光电产品均无代理,烦请通过以下方式与我司联系,
咨询邮箱:service,总部电话:+86-21-
•● DOE(人脸识别衍射元器件) | ●• Diffuesr(扩散元器件) | •● AR波导片 |
●• 微透镜阵列 | •● 微流控芯片 | ●• 微针 |
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