场发射扫描电子显微镜 (FE-SEM)

扫描电子显微镜 (SEM)

台式电子显微镜

外围仪器

电子/显微镜

探针台 (调节器)

单元

聚焦离子束系统

透射电子显微镜 (TEM/STEM)

牛津仪器X射线能谱仪(EDS)