产品简介

MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量，使激光光斑达到微米量级，提高测量的准确性，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。随着MEMS的日益发展，显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌，是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。显微激光测振仪MLV-100显微激光测振仪MLV-100

详细介绍

显微激光测振仪MLV-100

MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量，使激光光斑达到微米量级，提高测量的准确性，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
随着MEMS的日益发展，显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌，是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。

点直径*		大约10um
频率响应范围*		DC to 25KHz， DC to 100KHz， DC to 1MHz/2.5MHz
测量速度范围	法向*	50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s
	切向*	150mm/s, 1500mm/s, 15m/s，30m/s
滤波设置		高通、低通滤波设置
显微镜
目镜	放大倍率	W.D	光束直径
	5X	34mm	30um
	10X	34mm	20um
	20X/50X	20mm/13mm	10um/2um
X-Y平台
尺寸	100X100mm
移动范围	+/-10mm
分辨率	0.001mm

*可根据客户要求，并可为客户定制