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型号 | PDC200 | |
方式 | RIE模式、平行平板腔体 | |
性能 | 发生器功率: | 0-300W |
发生器频率: | 射频RF13.56Mhz | |
发生器匹配方式: | 自动匹配(Auto matching) | |
构成 | 腔体材质: | 铝制 |
腔体内尺寸: | W400×D250×H150mm | |
反应气体: | 二路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | |
控制方式: | 全自动控制 | |
真空度显示: | 数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。 | |
配管材质: | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
门: | 铰链门 | |
外形尺寸: | W540×D600×H600mm | |
真空泵抽速: | 4m3/hour | |
电源规格: | AC220V 10A | |
重量: | 约100kg |