真空阀
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上海益设节能环保科技有限公司
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经久耐用的真空阀。真空装置周边的KITZ SCT阀门系列。
在半导体、液晶制造装置中，供给工艺腔的气体在等离子和热的作用下在晶圆上发生反应后，会通过真空泵强制排出。
KITZ SCT的真空阀能够在如此严苛的条件保持稳定的长期耐久性。而且，在用于反应性气体时，可以通过加热阀门，防止反应副生成物附着于阀门内部，长期保持较高的防泄漏性能。
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