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系统性能：
1、检测范围及检测限
| 产物种类 | 检测范围（µmol/mol） | 产物种类 | 检测范围（µmol/mol） |
| H2 | 0.05-10000 | C3F8 | 0.05-10000 |
| O2 | 0.05-10000 | SO2F2 | 0.1-10000 |
| N2 | 0.05-10000 | SOF2 | 0.1-10000 |
| CH4 | 0.05-10000 | SO2 | 0.1-10000 |
| CF4 | 0.05-10000 | H2S | 0.1-10000 |
| CO | 0.05-10000 | COS | 0.1-10000 |
| CO2 | 0.05-10000 | CS2 | 0.1-10000 |
| C2F6 | 0.05-10000 | NF3 | 0.05-10000 |
| N2O | 0.05-10000 |
2、技术性能：
分析周期：＜20min
大误差：＜3%
稳定时间：＜30min
工作环境：-10～50℃
3、温控指标：
控温范围：室温上8℃-399℃
控温精度：±0.1℃
程序升温阶数：8阶
程序升温速率：1℃-40℃
降温速度：7分钟以内（350℃-50℃）
检测器：室温上8℃-399℃ 精度±0.1℃
4、其他参数：尺寸、重量、电源
尺寸：宽655mm×高500mm×深480mm
重量：～48kg
电源：220V±22V，50Hz 功率：≥2kW
