PE-100是一款完整的等离子清洗系统或是反应离子蚀刻系统, 带真空泵. 设计牢固和性能稳定, 高性价比，让那些初创工厂，医疗实验室，研发机构，能够使用PLASMA ETCH的产品和技术

PE-100提供三种功能配置：

1. 常规的等离子清洗和等离子蚀刻

2. 反应离子蚀刻（RIE）

3. PE-100可转换配置，一个系统包含各向异性和各向同性等离子体处理, 可移除托盘配置。

简介

PE-100焊接铝真空反应腔包含一个宽松的240平方英寸的有效等离子处理面积， 标准配置三层电极。采用工业粉末固化工艺，PE-100本体洁净的设计，能在运行过程中减少污染物产生。

当使用PE-100作为反应离子蚀刻应用，电极会特别设计为直驱型等离子，意味着等离子接触处理物表面，产生的等离子体向下流动或是钻进的效果。这个过程主要用在那些微孔或是清洗非常小的空间，这些工件通常不能够通过化学清洗方法，因为液体流动会在小空间里面受到限制，比如过孔。

典型的客户包括：生产制造工程，研究和开发实验室，测试工厂以及大学。工业客户包括生物医药，牙科，电子，光电子，科研，塑料，光学，太阳能电池电池板等。.

使用我们的等离子清洗机刻蚀，比较化学浸泡方法，可以避免昂贵的有害化学废水处理。等离子处理非常容易使用，通过导引型触摸屏操作控制等离子过程的各个参数，来确保高重复性。

我们可以客户化配置反应腔和电极，来满足您的产品或是过程需要，包括客户化尺寸水平电极，RIE(反应离子蚀刻) 和半导体引线边框的布局。

标准特性

焊接铝真空反应腔
3层水平处理电极 9” 宽 x 13” 深 3” 间隔距离

300 瓦射频发生器 @ 100KHZ

一个0-50sccm质量流量控制器

皮拉尼真空计0-1托

微处理器控制系统，带触摸屏界面, 存储一组过程参数

8CFM带氧气供应真空泵

真空泵油水分离器

可选项目特性
300 W射频发生器 @ 13.56 MHZ

静电防护

过程温度控制

氮气输入系统，用于延长真空泵寿命

RIE(反应离子蚀刻)配置

客户化电极尺寸和配置

电气和尺寸：

系统重量：等离子反应器 160lbs，真空泵68lbs

系统尺寸：等离子反应器 17“ X 28” X 30”， 真空泵6 “ X 18” X 9”

厂务条件：

电压：220伏交流， 50HZ, 13A, 单相

压缩气体供应80-100psig <0.5 CFM

可调过程气体15-30PSIG