外形尺寸MM

1600(L)*1000(W)*1700(H)MM

1600(L)*800(W)*1400(H)MM

腔尺寸 MM

300(L)*500(W)*50(H)

300(L)*120(W)*50(H)

轨道数量

双轨八道

单轨一道

清洗效率

600片每小时

120片每小时

等离子发生器

13.56MHz，0~600W可调。

13.56MHz，0~300W可调。

真空度

0.01~0.8Torr

0.01~0.8Torr

气体通道

2路，（O2/Ar/H2/CF4可选）

2路，（O2/Ar/H2/CF4可选）

产品尺寸(MM)

长140~280，宽30~80,可定制

长140~280，宽30~80,尺寸可定制

冷却方式

风冷

风冷

真空泵

无油泵

无油泵

针对产品

集成电路/LED封装

集成电路/LED封装