·等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。 
·对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求 
·等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。 
·射频功率无极连续可调。 
·高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。 
·特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。 
·的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。 
应用范围
 恒超源洗净科技（深圳）有限公司专业研发生产销售等离子清洗设备，是微波等离子工艺用于芯片制造、MEMS器件、LED、光伏电池、连接器、平板显示器和探测器等领域的市场。在光刻胶灰化、活化、表面浸润、晶圆减薄和应力去除、打线前的bond pad清洁、封胶前的活化等应用中用安全的微波等离子对硅、三五族化合物、铌酸锂等半导体材料进行处理。微波等离子体特别适合于处理对静电敏感的器件。