品牌
其他厂商性质
所在地
产品特性
■主要针对引线框架特性，配备自动取片、传输、送片等辅助功能
■高自动化，减少人为因素，降低二次污染
■高性价比，通过组件转换，可以兼容不同料片清洗
■清洗时间短，无溅射损伤和高湿损伤
■屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控
■设备参数分级管理，提高操作安全性
■完善的故障报警功能，提示故障项目和故障工位，便于维修
| 产品型号 | AW-ZP04 | AW-ZP04A |
| 外形尺寸（不含报警灯塔） | 1650（W）×1000（D）×1650(H)mm | |
| 反应仓尺寸（铝合金） | 280(W)×450(D)×50(H）mm | 350（W）×450（D）×50(H)mm |
| 等离子体发生器 | 频率13.56MHz，功率0-600W可调，自动阻抗匹配 | |
| 气路系统 | 标准配置2路（O2/Ar/H2），MFC质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调 | |
| 控制系统 | 触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式 | |
| 兼容料片尺寸 | 长150-270mm，宽30-80mm | 长105-155mm，宽30-80mm |
| 清洗效率 | 4道4片，UPH约500片/小时 | 4道8片，UPH约1000片/小时 |
| 针对产品工艺 | 集成电路IC封装工艺 | LED封装工艺 |
| 备注 | 可按客户需求弹性设计 | |
