SHINKO神港精机SST200真空泵

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二，薄膜成型设备

  1，多室型溅射成型设备。STM5412，STM5213，STM4415

  2，负载锁定型溅射成型设备。STL5321，STL5111，STL5311

  3，批量型溅射成型设备。SRV4310，SRV6310，SRV7310

  4，在线型溅射成型设备。

  5，卷取式溅射成型设备。SDR系列

  6，超高真空溅射设备设备。STM2323

  7，研发用溅射成型设备。SRL3320，SDL4320，STL5520

  8，标准气相沉积设备。AMF-C850SPB，AMF-C1065SPB，AMF-C1275SPB，AMF-C2280SPB

  9，气相沉积设备。AAMF-C1065SBR，AAMF-C2265SBR

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