美国Photon公司的光束质量分析仪NanoScan采用狭缝扫描技术，在保持BeamScan易用性和灵活性的基础上提高了产品的主要性能，对紫外到远红外光谱范围内的连续光和脉冲光均可进行测试，探测功率可达千瓦级．

      NanoScan的扫描速度软件可控，采用峰值关联算法可对连续光和kHz以上的脉冲光束进行测量，软件可对1-16个光斑进行亚微米精度的测量，而且具有ActiveX自动控制功能，便于把NanoScan 集成到其它系统中。

      NanoScan有硅、锗以及热释电探测器三种可供选择，光谱响应范围从紫外190nm到100µm以上的远红外，狭缝尺寸最小1.8um，可以测量7um-9mm直径的光斑，NanoScan光束质量分析仪的特点就是不用外加衰减就可以直接测量大功率激光。