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主要参数
IGS 型号 MPT-3JN/RL030 运动自由度 Z ,θx,θy 行程范围(μ m±20%) 30 转角范围(mrad±20%) 0.6,0.6 位移分辨率(nm) 3 重复定位精度(nm) -/30 运动方向上刚度(N/μm±20%) 2 负载(Kg) 0.5 固有频率(Hz±20%) 500 工作温度范围(℃) -20 ～ 80 模型下载
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-2CR0150
