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所在地
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| MPT-3JN/RL010 | MPT-3JN/RL025 | MPT-3JN/RL050 | |
| 运动自由度 | Z,θx,θy | Z,θx,θy | Z,θx,θy |
| 转角范围(mrad±10%) | ± 0.4 | ± 0.8 | ± 1.0 |
| 位移范围(μm±10%) | 10 | 25 | 50 |
| 位移分辨率(nm) | 0.2 | 0.4 | 0.5 |
| 重复定位精度(nm) | -/2 | -/4 | -/5 |
| 角位移分辨率(μrad) | 0.4 | 0.8 | 1 |
| 角重复定位精度(μrad) | -/4 | -/8 | -/10 |
| 负载(Kg) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 固有频率(Hz) | 1000 | 1000 | 800 |
| 重量(g±5%) | 250 | 400 | 550 |
| 工作电压(V) | 0-150 | 0-150 | 0-150 |
| 工作温度范围(℃) | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A（mm） | 60 | 80 | 100 |
| 外型尺寸 B（mm） | 52 | 52 | 52 |
| 外型尺寸 C（mm） | 50 | 50 | 50 |
| 模型下载 | IGS | IGS | IGS |
