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型号 | MPT-6JN/RL050 |
运动自由度 | X,Y,Z ;θx,θy,θz |
行程范围(μm±20%) | 50,50,30 |
转角范围 (mrad±20%) | 0.6,0.6,1 |
位移分辨率 (nm) | 0.6,0.6,1 |
重复定位精度 (nm) | -/50,-/50,-/30 |
运动方向上刚度(N/μm±20%) | 50 |
负载 (Kg) | 5 |
固有频率 (Hz±20%) | 1500 |
工作温度范围 (℃) | -20 ~ 80 |
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