系列

Femto

控制系统

半自动型

PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

体积

1.9~6L

真空腔室

圆形不锈钢件，配有盖子
（大约 Φ 100 mm, 长 278 mm 或者长 600 mm）

矩形不锈钢件，配有铰链的门
（约宽 103 x 深 285 x 高 103)

配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门
（大约Φ  95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm）

配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门
（大约 Φ 95 mm, 长 280 mm 或者长 600 mm）

配有盖子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有铰链的门
（大约Φ  95 mm，长 280 mm 或者长 600 mm）

电极

单层或多层

RIE

样品支架

（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

气源

针型阀

质量流量控制器 (MFCs)

压力计

Pirani

Baratron（适用于腐蚀性气体版本）

计时器

数字型

高频电流发生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W

13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W

12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W

所有发生器均为 0 - 99% 无级可调型

真空泵

KASHIYAMA

电源

供电电源： 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位