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石家庄市所在地
| 系列 | Atto 手动控制 | Atto 外部PC控制 | Atto 集成PC控制 |
| 控制系统 | 手动型、通过模拟计时器测定工艺时间 | PC-控制系统(Microsoft Windows XP) | PC-控制系统 (Microsoft Windows CE) |
| 体积 | 10.5L | ||
| 真空腔室 | 玻璃材质、Dia.211 mm、长 300 mm | ||
| 样品支架 | 1个样品支架 | ||
| 气源 | 2 个由针型阀控制的气体通道 | 2 个由 MFCs 控制的气体通道 | 2 个由 MFCs 控制的气体通道 |
| 高频电流发生器 | 40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/300 W 反射波自动匹配 | ||
| 真空泵 | 5 m3/h | ||
| 外尺寸 | 宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm | ||
| 电源电压 | AC220V | ||
