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ZETA电位 · 粒径 · 分子量测试系统·ELSZneo3
面议ZETA电位 · 粒径测试系统·ELSZneoSE2
面议多样品纳米粒子径测试系统·nanoSAQLA
面议多样品nano粒子径测量系统 nanoSAQLA(带自动取样器 AS50)
面议ZETA电位 · 粒径 · 分子量测试系统·ELSZ-2000ZS
面议显微分光膜厚仪 OPTM series2
面议膜厚量测仪 FE-300
面议嵌入式膜厚检测仪2
面议椭偏仪 FE-5000/5000S
面议分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3
面议多通道光谱仪 MCPD-9800 / 6800
面议总光谱光通量测量系统 HM/FM series
面议产品信息
特点
以透过光谱测量、色测量为代表,通过浓度测量、膜厚测量、反射光谱测量等,可对应彩色滤光片制造工程中的所有检查的装置
可用于彩色滤光片的光学特性或玻璃基板上膜的薄膜解析等各类评价
通过自动对焦功能和自动绘素位置相结合,测量精度高,登陆recipe实现自动检查
测量项目
彩色滤光片评价 | 色测量(透过光谱测量) 色度(XYZ,xy,Lab,L*a*b*,u'v',u*v*) 色差,白平衡 |
---|---|
反射率测量 * | |
浓度(OD)测量 * | |
画素幅测量 * | |
AF(自动对焦),结合自动绘素 * | |
膜厚评价 | 膜厚测量 |
膜物性解析(n:折射率,k:消减系数) |
测量对象
R, G, B, ITO, PI, PR, OC, BM
仕样
型号 | LCF series |
---|---|
样品尺寸 | 50mm×50mm ~* |
检出器 | 分光光度计 ( MCPD检出器 ),PMT (option) |
图像处理 | CCD相机及monitor 自动对焦?结合自动绘画素机构 |
Stage及测量部支架 | X-Y-Zstage自动及手动(电动方式) |
* 也可用于大型玻璃基板(3000mm×3000mm以上)
测量例
彩色滤光片のR、G、B测量