嵌入式膜厚检测仪

嵌入式膜厚检测仪

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具体成交价以合同协议为准
2024-01-09 11:29:14
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大塚电子（苏州）有限公司

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产品简介

产品信息 特 点 采用分光干涉法 搭载高精度FFT膜厚解析系统（ 第4834847号） 使用光学光纤，可灵活构筑测量系统 可嵌入至各种制造设备。 实时测量膜厚 可对应远程操作、多点测量...

详细介绍

    产品信息

    特　点

   ●采用分光干涉法

   ●搭载高精度FFT膜厚解析系统（ 第4834847号）

   ●使用光学光纤，可灵活构筑测量系统

   ●可嵌入至各种制造设备。

   ●实时测量膜厚

   ●可对应远程操作、多点测量

   ●采用寿命长、安全性高的白色LED光源

    测量项目

   ●多层膜厚解析

    用　途

   ●光学薄膜（超硬涂层、AR薄膜、ITO等）

   ●FPD相关（光刻胶、SOI、SiO2等）

    设备构成

    单点型

   ●半导体晶圆的面内分布测量

   ●玻璃基板的面内分布测量

    多点型

   ●实时测量

   ●流向品质管理

   ●真空室适用

    导线型

   ●实时测量

   ●宽度方向品质管理

    测量案例

    超硬涂层的膜厚解析

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