一体化的 Calotte 装载机

一体化的 Calotte 装载机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-09-09 09:36:14
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深圳市艾兰特科技有限公司

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产品简介

产品描述：全自动系统，可以在晶圆盒和callotes之间传送晶圆 精确地放置，通过自动位置测量和自动化指导，实现的操作精度和重复性 多功能性，分段扫描映射可以自动检测不同的分段类型和不同calotte类型 主机通知， 晶圆ID，晶圆盒 ID，段位ID以及段内位置 满足处理要求的可靠性 吞吐量全速传输时240 wph 下料模式时为240 wph 上料模式为160wph 机电一体化元件和技术可以更大限度地提高晶圆的安全性。

详细介绍


全自动系统，可以在晶圆盒和callotes之间传送晶圆

精确地放置，通过自动位置测量和自动化指导，实现的操作精度和重复性

多功能性，分段扫描映射可以自动检测不同的分段类型和不同calotte类型

主机通知， 晶圆ID，晶圆盒 ID，段位ID以及段内位置

满足处理要求的可靠性

吞吐量全速传输时240 wph

下料模式时为240 wph

上料模式为160wph

机电一体化元件和技术可以更大限度地提高晶圆的安全性。

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