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所在地
JSM-7200F 热场发射扫描电子显微镜
面议JSM-IT500 扫描电子显微镜
面议SpectraMax iD5-多功能微孔读板机(酶标仪)
面议CMax Plus 滤光片型光吸收酶标仪
面议JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜
面议JSM-7900F 热场发射扫描电子显微镜
面议SpectraMax 190 光吸收型酶标仪
面议Serial Block-face SEM 3View 发射扫描电子显微镜
面议JSM-IT500HR 扫描电子显微镜
面议TSQ Fortis 三重四极杆质谱仪
面议JSM-IT200 InTouchScope 扫描电子显微镜
面议JCM-7000 NeoScope™ 台式扫描电子显微镜
面议BW 217FA 全自动晶圆贴膜机
卖点
· 热熔切膜
· 全自动作业
机台优势
· 全自动贴膜作业
· 双手臂取放片,节省作业时间;最多可放 3 个卡匣,一次处理 75 片铁环 ( 铁环一次最多可放 100 片 )
作业方式
[自动模式]:
将铁环放置于铁环升降传动机构上,卡匣放置于卡匣升降传动机构上,按自动启动,取片手臂吸附铁环,将铁环放置于移载台上,移载台移动至贴膜位,机构下压膜至移载台表面后贴合,熔切于铁环上,完成后移载台自动退出,移载台升降机构将铁环上升,放片手臂自移载台将铁环取走后,放置进卡匣内,自动进行下一片贴膜动作。
[手动模式]:
开启手动模式,按自动启动,取片手臂与放片手臂退至安全位,移载台至入料位,操作员放置铁环,在画面上按吸真空,确定钮长按一秒,移载台移动至贴膜位,机构下压膜至移载台表面后贴合,熔切于铁环上,完成后移载台自动退出,移载台升降机构将铁环上升,操作员即可取走铁环,在画面上按平台升降,令移载台升降机构下降,继续放置铁环,进行下一片贴膜动作。
设备规格
设备尺寸 | 1150 mm × 1260 mm × 2130 mm ( W×D×H ) |
设备重量 | 720 kg |
电源AC | 1 Ø 220 V ∕ 10 A |
空气源 | 6~8 Kgf/cm2 (10 ØTube) |
晶圆尺寸 | 无 |
晶粒尺寸 | 无 |
雷切深度 | 无 |
铁环尺寸 | 6″ Flat Rin设备应用范围 g ( 内径 Ø 194 mm ; 外径 228 mm ;t= 1.0 ~ 1.3 mm ) |
机台特性