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所在地
| PCB板规格 | plasma | 可加工量 | |||||||
| 序号 | 宽 | 长 | 宽 （mm） | 长 （mm） | 面积 （㎡） | 长 （mm） | 宽 （mm） | 面积 （㎡） | 块数 |
| 1 | 18 | 24 | 457.2 | 609.6 | 0.28 | 1200 | 630 | 0.756 | 2 |
| 2 | 16 | 20 | 406.4 | 508 | 0.21 | 1200 | 630 | 0.756 | 2 |
| 3 | 24 | 36 | 609.6 | 914.4 | 0.56 | 1200 | 630 | 0.756 | 1 |
| 序号 | 项目 | 规格参数 | 备注 |
| 1 | 机台型号 | PL-800 | 大族 |
| 2 | 机台整机规格 | 2050(D)x2110（W）x2000（H）mm | 大族 |
| 3 | 真空室规格 | 914（D）x1300(W)x730(H)mm | 不锈钢 |
| 4 | 真空电极机构 | 水平极板 | 自由组合 |
| 5 | 真空泵单元 | 鲍斯真空泵，干泵 | 合资 |
| 6 | 自控系统硬件单元 | PLC可编程控制器及扩展模块（D/A转换、A/D转换） | 合资 |
| 7 | 人机控制界面单元 | 触摸屏 | 合资 |
| 8 | 自控系统软件单元 | 自主研发 | 大族 |
| 9 | 真空测定单元 | 电阻式真空计 | 合资 |
| 10 | 真空排气单元 | 全不锈钢管路+波纹管+专业定制GDQ | 合资 |
| 11 | 真空阀门单元 | 高真空挡板阀 | 合资 |
| 12 | 气体控制单元 | 电磁阀控制 | 合资 |
| 13 | 气体计量单元 | 4路精确质量流量控制计 | 合资 |
| 14 | 其它单元 | 国内外品牌元器件 |
| 序号 | 项目 | 规格参数 | 备注 |
| 机台总重 | 约2000KG | 实际或有些许变化 | |
| 功率 | <35KW | 以实际配置功率为准 | |
| 机台供电 | AC380V±10%@50HZ | ||
| 电极板尺寸 | 770(D)X1272(W)X13(H) mm | ||
| 工作真空度 | 10-60Pa | 工艺要求而定 | |
| 泵组抽速 | 350m³/h | 螺杆+罗茨 | |
| 泵保护 | 热过载 | ||
| 极限真空度 | ≤3pa |
