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为克服器件制造的设备空间限制，矽碁科技开发出适合2英寸晶圆的小型半导体制造平台-Mini Line，配置灵活，占地面积小，运行成本低。适用于科研和企业用户教学和小批量器件制造。
优势：
1 设备成本低；
2 运行能耗低；
3 占地面积小；
4 制造效率高；
5 配置方式灵活；
可集成设备清单：
1 多靶枪磁控溅射
2 电子束蒸发
3 热蒸发
4 PECVD
5 RIE
6 PEALD
7 ALE
8 Annealing
9 Plasma treatment
