Mini Line 微型器件平台

手动镀膜系统

OLED CLUSTER镀膜设备

磁控溅射（共溅射）

超高真空磁控溅射镀膜机

多工位磁控溅射镀膜机

电子束蒸发镀膜机

线性磁控溅射镀膜机

有机物蒸发镀膜机

热蒸发镀膜机

低压化学气相沉积（LPCVD）

化学气相沉积（PECVD）