技术参数：

1 电子枪能量范围：50 eV ~ 5 keV；

2 电子枪工作距离：20 mm ~ 100 mm；

3 电子束偏转角度：±3.5° @ 5 keV；

4 电子枪束流：1nA ~ 100 µA；

5 束斑尺寸：1 mm ~ 10 mm；

6 阴极材料：Ta (真空要求1 x 10^-5 Torr)；

7 计算机/远程控制能力：通过50针D-sub/RS-232接口；

8 反馈稳定功能：发射电流控制；

9 双栅脉冲宽度调制范围：2 µs ~ DC，重复频率可到5 kHz；(Option)

10 脉冲宽度调制范围：20 ns ~ 100 µs；(Option)

11 电子枪在真空中的长度为180 mm；(Option)

EGL-2022 / EGPS-2022型电子枪产品介绍