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特殊的腔体设计和工艺设计，可以使得ALD技术应用于工业量产，并且可以提高镀膜效率。矽碁可根据用户的需求定制设备。
技术参数：
1 不锈钢腔体，双层加热设计；
2 等离子体增强模块集成于腔体上盖；
3 进口高速ALD隔膜阀；
4 基片尺寸可以定制；
5 基片加热400℃；
6 最多可提供6路前驱物和6路工艺气体；
7 气路全金属密封，并可加热至120℃；
8 可提供前驱体钢瓶加热或冷却；
9 可全自动控制工艺过程，同时也可以手动操作。
10 量产型设计，可以全自动化
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