技术参数：

1 能量范围：10 eV ~ 1 keV；

2 离子枪工作距离：10 mm ~ 200 mm；

3 离子束偏转角度：±5o @ 1 keV；

4 离子枪束流：1 nA ~ 100 nA；

5 束斑尺寸：1 mm ~ 5 mm；

6 离子种类：Cs+，Li+，Na+，K+，Rb+；

7 计算机/远程控制能力： 通过50针D-sub/RS-232接口；

8 能量分布：约 0.4 eV；

9 双栅脉冲宽度调制范围：1 µs ~ DC，重复频率可到5 kHz；(Option)

10 脉冲宽度调制范围：20 ns ~ 100 µs；(Option)

11 法拉第杯；(Option)